Intelligentes Greifersystem für dünne Sensorsubstrate aus Glas

Land:
Österreich

Kunde:
E+E Elektronik GmbH

Hintergrund:
Die Firma E+E Elektronik ist in der Entwicklung und Produktion von Sensoren und Messumformern für Luftfeuchte und Luftgeschwindigkeit auf Basis der Dünnschichttechnik tätig. Für die Fertigung der Sensoren ist es wesentlich die Vermeidung von Partikelkontamination zu beachten. Mit Hilfe des Bernoulli Effekts ist ein berührungsloser Transport des Sensorsubstrats (Glasplättchen) möglich, wodurch die Kontamination der Sensoroberfläche minimiert wird. CTR wurde beauftragt ein Greifersystem zu entwickeln, das die Sensorsubstrate (siehe Bild) von einer Palette berührungslos aufnimmt und für die weitere Prozessierung auf einem Vakuumchuck ablegt. Nach erfolgreicher Machbarkeit wurden Bernoulli Greifer geordert.

CTR Leistungen:
Die CTR optimierte den Bernoulli Chuck hinsichtlich Durchmesser, Luftspalt, Ansaugkraft und Vibrationsneigung. Es wurde ein Laboraufbau konstruiert und gefertigt, der den gesamten Handhabungsablauf demonstriert und eine Positionssensorik zur Erfassung der Substrate beinhaltet. Die Greifer wurden für die Reinraumklasse 100 ausgeführt. Das Greifersystem wurde patentiert.

Projektdauer:
8 Monate

Lieferumfang:
Bernoulligreifer