Spin-Prozess Simulation

Land:
Deutschland, Österreich

Kunde:
SEZ Gruppe

Hintergrund:
Die SEZ Guppe ist ein führender Zulieferer der Halbleiterindustrie für Geräte zur Nassätzung von Wafer-Oberflächen. Sowohl die von SEZ entwickelte Spin-Prozess Technik für einzelne Wafer, als auch entsprechende Geräte zur Behandlung von Wafer-Stapeln bilden die Basis einer breiten Produktpalette zur Ätzung und Reinigung von Wafern. Die CTR AG unterstützt die Entwicklung oben genannter Geräte durch numerische Simulation fluid-dynamischer Prozesse.

CTR Leistungen:
3-D Simulation fluid-dynamischer Prozesse für Geräte zur Nassätzung von 300mm, Simulation von Mehrphasenströmungen mit freien Oberflächen, Simulation von gekoppelten Flüssigkeits- und Wärmetransport, Simulation der Luftströmung in Reinräumen

Projektdauer:
2 Jahre

Lieferumfang:
Aufnahmen mit der Hochgeschwindigkeitskamera, Interpretation der Simulations- und Visualisierungsergebnisse durch Experten auf dem Gebiet der Fluiddynamik, Ergebnisse zur Optimierung der Gerätegeometrie