Ihr Startpunkt für Innovation

Microsystem Technologies

Im Forschungsbereich Microsystem Technologies arbeitet das Team mit modernsten Technologien, um neuartige Lösungen auf Basis mikromechanischer Systeme  zu entwickeln - vom Konzept über den ersten Proof of Concept bis hin zum Prototypen.

Ihr Ansprechpartner bei CTR

Dr. Mohssen Moridi

Microsystem Technologies

Telefon: + 43 (0) 4242 56300 218
E-mail:

Multifunktionelle Kleinstsysteme

Mikrosysteme machen Produkte nicht nur kleiner und leistungsfähiger, sondern auch effizienter, smarter und multifunktionell. Dadurch bieten sich branchenübergreifende Innovationspotenziale für Unternehmen, um ihre Position auf den Weltmärkten zu festigen und auszubauen. 

F&E SCHWERPUNKTE

  • Entwurf, Modellierung und Kosimulation von MEMS-/NEMS-Komponenten
  • Teststrukturen und Charakterisierung auf Chipebene (Sensoren und Aktoren)
  • Konzeption und Prototyping von Mikrosystemen: magnetische, optische, akustische, piezoelektrische Materialien und Packaging
  • Back-End-Services: Packaging, Mikromontage, Bonding, Design, Test- und Prüfsysteme

F&E KOMPETENZEN

  • Entwurf, Modellierung und Co-Simulation von MEMS-Komponenten. Gestützt auf unser Know-how und verschiedene Co-Simulationsverfahren entwickeln und optimieren wir neuartige Mikrosysteme, die auf die Anforderungen unserer Kunden zugeschnitten sind.
  • Konzeption und Prototyping von Mikrosystemen. Dank jahrelanger Erfahrung auf dem Gebiet der Nano- und Mikrotechnologien sind wir in der Lage, einzigartige und konstante Prozessabläufe für die Herstellung von MEMS-Geräten zu entwickeln. Durch den Ausbau unseres Reinraums der ISO-Klasse 5 und die enge Zusammenarbeit mit unseren Partnern aus Wissenschaft und Industrie können wir einzelne Chips ebenso wie 200-mm-Wafer verarbeiten und damit auf die spezifischen Anforderungen unserer Kunden im Bereich der Entwicklung von MEMS eingehen.
  • Charakterisierung von Sensoren und Aktuatoren. Durch unsere umfangreiche Ausstattung mit Test- und Prüfsystemen sind wir in der Lage, das komplette Spektrum an Back-End-Services anzubieten – vom Packaging über Mikromontage, Bonding und das Design von Leiterplatten bis zur Charakterisierung von MEMS-Komponenten.

Neben diesen Kompetenzen und unserer langjährigen Erfahrung auf dem Gebiet der Mikrosysteme profitiert der Forschungsbereich Microsystem Technologies vor allem von der fachübergreifenden Zusammenarbeit. Dies ermöglicht es dem Team, nicht nur die Technologie an sich voranzutreiben, sondern sie auch effizient an unterschiedliche Anwendungsfelder anzupassen.

Anwendungen

Kabellose Hirndrucksensor mittels SAW Technologie

Die klinische Beobachtung des Hirndrucks ist für die Behandlung von Kopfverletzungen und Hirnerkrankungen von kritischer Bedeutung. Im Gegensatz zu drahtgebundenen oder katheterähnlichen Systemen mit hohem Infektionsrisiko können diese Sensoren drahtlos ausgelesen werden. Zur Realisierung derartiger Systeme arbeiten die Forscher der CTR gemeinsam mit UNISENSOR, einem langjährigen Partner aus der Industrie, an der Entwicklung eines innovativen implantierbaren Drucksensors, der auf dem Prinzip der akustischen Oberflächenwellen (Surface Acoustic Waves - SAW) basiert. Das Sensorelement ist eine 30 µm starke Membran aus Lithiumniobat, die mit einem akustischen Wandler ausgestattet ist und auf der Basis von SAW-Echomessungen arbeitet. Das System kann Druckschwankungen von ±0,5 Torr (mmHg) in einem großen Spektrum im Bereich des atmosphärischen Drucks messen.

iDrive - robust und kostengünstig für die Automobilindustrie mittels magnetischer Positionsbestimmung

Die magnetische Erkennung von Position und Ausrichtung ist ein wachsendes Betätigungsfeld mit unzähligen anwendungsorientierten Möglichkeiten zur Erfassung von Bewegung und relativer Positionierung. Für den entwickelten Prototypen wurde für den Unternehmenspartner INFINEON ein magnetisches Mapping eines I-Dive-Multimediasteuerelements durchgeführt. Vereinfacht ausgedrückt, wurden alle vier Dimensionen der Bewegung des Steuerelements mit einem Magnetsensor erfasst. Das ursprüngliche, sehr komplizierte Setup, das aus drei optischen Encodern mit Lichtleiteinrichtungen und einer Drucktaste bestand, wurde damit vollständig ersetzt. Diese einfache, jedoch äußerst robuste magnetische Variante (siehe Bild) bringt enorme Kosteneinsparungen, was vor allem für Branchen wie die Automobilindustrie von großer Bedeutung ist, bei denen die Stückzahlen in die Millionen gehen.