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Intelligente hochintegrierte Sensorsysteme für prädikative Instandhaltung von Halbleiter-Produktionsmaschinen

Im Projekt „SensSemicon“ geht es um die Entwicklung eines vernetzten drahtlosen Sensorsystems, um Halbleiterproduktionsmaschinen fit für Industrie 4.0 zu machen. 

Ihr Ansprechpartner bei CTR

Dr. Christina Hirschl

Area Manager Smart Systems

Telefon: + 43 (0) 4242 56300
E-mail:

Forschungsprogramm

Das Projkekt "SensSemicon" wird im Rahmen der FTI-Initiative Silicon!Alps, F&E Projekte im Bereich Mikroelektronik der Bundesländer Steiermark und Kärnten, gefördert.

Ziele  

Ziel des Projektes SensSemicon ist es, die technologischen Grundlagen zur Realisierung eines passiven Multisensornetzwerkes zu erforschen, um dieses in Halbleiter-Produktionsmaschinen integrieren zu können. Aktuell arbeiten moderne Halbleiter-Produktionsmaschinen bereits ferngesteuert und weitgehend vollautomatisch. Jetzt geht es darum, eine permanente und echtzeitfähige Überwachung definierter Parameter während des Prozessverlaufes zu ermöglichen. 

Industrie 4.0: selbststeuernd und effizient

Durch die Forschungsarbeiten soll es erstmals ermöglicht werden, über ein integriertes Sensornetzwerk zuverlässige Informationen über die inneren Abläufe und Zustände einer Halbleiter-Produktionsmasche aufzuzeichnen und diese über eine Schnittstelle nach außen zu kommunizieren.

Dazu benötigt man neben einer State-of-the-Art Halbleiterproduktionsmaschine, smarte Sensoren, die unter extremsten chemischen Abläufen Informationen per Funk erfassen, ein optimiertes kontaktloses Erfassungssystem, einen ausgeklügelten Algorithmus und ganz viel Forschungsknow-how.

Das System soll gleichzeitig eine Identifikation multipler unterschiedlicher Anlagenkomponenten im Betrieb ermöglichen wie auch Mess- und Prozessdaten erfassen. Die permanente und selbstständige Erfassung des Systemstatus in Echtzeit soll neben einer zustandsorientierten auch eine vorausschauende Wartung („predictive maintenance“) ermöglichen. Dadurch sollen Vorhersagen ermöglicht werden, zu welchem Zeitpunkt das Eintreten eines Fehlerfalls zu erwarten ist. Als Effekt können so Stillstandszeiten reduziert, die Produktivität erhöht und auch die Ressourcen optimal eingesetzt werden.

Projekt KONSORTIUM

Das Forschungskonsortium besteht aus vier Partnern, die entlang der gesamten Wertschöpfungskette eines Industrie 4.0-Sensornetzwerkes tätig sind. Seitens der Industrie bringt Lam Research die Halbleitermaschinen ein, NXP stellt die entsprechenden RFID-Chips einschließlich des Funkknow-hows zur Verfügung. Das Forschungszentrum CTR bringt das notwendige Integrations- und Sensorik-Know-how ein und der Partner erfideo soll mittels Algorithmen für eine lückenlose und echtzeitfähige Datenerfassung sorgen.

Link Medieninfo: http://www.ctr.at/news/news-presse/details/news/smartes-sensornetzwerk-macht-fit-fuer-industrie-40/

Projekt Fakten

Projekt: SensSemicon „Intelligente hochintegrierte Sensorsysteme für prädikative Instandhaltung von Halbleiter-Produktionsmaschinen“
Programm: FTI-Initiative „Silicon!Alps“
Projektleitung: CTR Carinthian Tech Research
Laufzeit: 2 Jahre (01/2018 – 12/2019)
Konsortium: 4 Partner:  Lam Research AG, NXP Semiconductors Austria GmbH, erfideo Software & Identifikations GmbH, CTR Carinthian Tech Research
Projekt Volumen: €  826.881,-
Finanzierung:  30 % Industrie | 70 % Forschungsförderung  

Link Medieninfo: http://www.ctr.at/news/news-presse/details/news/smartes-sensornetzwerk-macht-fit-fuer-industrie-40/

 

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